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微差壓傳感器的原理

微差壓開(kāi)關(guān)，是微差壓傳感器的一種，它利用了MEMS技術(shù)，它能夠提供很多常閉、常開(kāi)節(jié)點(diǎn)，不帶有活動(dòng)元件，而且具備使用方位不敏感、重復(fù)性很好以及使用壽命長(zhǎng)等等優(yōu)點(diǎn)，它的應(yīng)用領(lǐng)域比較廣泛，比如在變風(fēng)系統(tǒng)以及暖通空調(diào)系統(tǒng)等領(lǐng)域。微差壓力傳感器需要按照一定的規(guī)定或者是通過(guò)一定的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)安裝的，它可以把壓力前后的改變量有效地轉(zhuǎn)換成為壓敏元件的有關(guān)變化，接著再由敏感元件的形變所形成的弱信號(hào)輸出進(jìn)行相關(guān)的處理調(diào)制，或者是將其再通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換的處理以及芯片的運(yùn)算處理，輸出數(shù)字信號(hào)。現(xiàn)在以電容式微差壓力傳感器為例，介紹一下它的工作原理。壓力變送器在被測(cè)的物質(zhì)兩側(cè)不一樣的壓力分別通過(guò)高和低兩壓力室，而作用在敏感元件的兩個(gè)邊緣的隔離膜片上面，然后經(jīng)過(guò)元件和隔離片里的填充溶液，將其輸送到處理膜片的兩側(cè)，兩側(cè)絕緣片上的電極和測(cè)量膜片分別形成一個(gè)電容器。當(dāng)兩側(cè)所受到的壓力大小不一樣的時(shí)候，測(cè)量膜片就會(huì)形成一定的位移，它的位移量跟壓力差是成正比的關(guān)系的，因此兩側(cè)的電容量就各不相同了，那么經(jīng)過(guò)振蕩以及解調(diào)的環(huán)節(jié)，就可以將其轉(zhuǎn)換成為跟壓力成正比關(guān)系的信號(hào)，最后進(jìn)行信號(hào)的調(diào)制就可以順利得到調(diào)制電流了，使用A/D轉(zhuǎn)換器就可以把解調(diào)器中的電流有效地轉(zhuǎn)換成為數(shù)字信號(hào)，微處理器可以利用這個(gè)數(shù)值來(lái)判斷輸入壓力值，最后由微處理器來(lái)控制壓力傳感器的有關(guān)工作。